XLS-1 系列线性平台

XLS-1系列是由超声波压电马达驱动的精密线性平台。这种平台将高速定位与纳米精度相结合。Xeryon的超声波压电马达确保平台的长寿命、无噪音、无振动地使用。此外，自锁压电马达在断电时保持住平台的原有位置。来自运动产生的热很小，从而铸就了稳定的纳米定位系统。XLS-1可用于测量应用，例如用于零件的校准或样品的修正。XLS-1系列有不同长度版本，且易于堆叠成为XY运动平台。所有平台都可以配备一个短保持架，以增加冲程。